Beschichtungen in der Mikroelektronik
FHR Anlagenbau GmbH – Pioniere in der Dünnschichttechnologie
Geschichte trifft Innovation
Das Know-how der FHR in dünnen Schichten für die Elektronik ist beispiellos. Unsere Firmengründer begannen ihre Karriere im VEB Elektromat Dresden, wo sie an der Entwicklung und Produktion von Vakuumbeschichtungsanlagen beteiligt waren. Dieses historische Erbe ist eng verbunden mit der Entwicklung der Sputtertechnologie und der chemischen Dampfphasenabscheidung, parallel zum Aufkommen der Halbleitertechnik.
Zukunft gestalten mit Schlüsseltechnologien
Dünnschichttechnologien sind das Herzstück der Mikroelektronik. Fortschritte in der Halbleiterfertigung gehen Hand in Hand mit der Evolution unserer Beschichtungsverfahren. Laut der Roadmap des Branchenverbands SEMI wird der Prozess der Atomlagenabscheidung (ALD) zentral für die weitere Miniaturisierung in der Elektronik.
Tauchen Sie ein in unsere Welt der Innovationen!
FHR-Produkte für elektronische Anwendungen
Clusteranlagen der FHR – Bewährte Lösungen in Forschung und Industrie
Die FHR.Star-Produktreihe: Der Industriestandard
Unsere FHR.Star-Produktreihe ist in Forschung und Industrie hochgeschätzt. Zahlreiche Unternehmen und Institute setzen diese als Standardlösung für das Prozessieren von Wafern ein. Charakteristisch sind Kombinationen aus Beschichtungs-, Ätz- und Temperprozessen. Diese erlauben nicht nur das Auftragen von Schichten, sondern auch deren Strukturierung und Modifikation.
Vielseitige Anwendungen und Technologien
FHR-Anlagen und -Verfahren dienen der Abscheidung verschiedenster Funktionsschichten, darunter Kontakt-, Magnet- und piezoelektrische Schichten sowie Dielektrika. Zudem sind sie entscheidend für die Fertigung elektronischer Schaltstrukturen und Bauteile wie MEMS, Sensoren, Widerstände, Kondensatoren und Transistoren, sowie SiC-Leistungshalbleiter.
Beschichtungen im Segment der Mikroelektronik
FHR Star.500.EOSS® & FHR.Roll
Mit unserer FHR.Star.500-EOSS® erzeugen wir optische Filter direkt auf dem Sensor – präzise und effizient. Die FHR.Roll-Produktreihe bringt Innovation in die flexible Elektronik. Wir fertigen Leiterbahnen auf Polymer- und Metallfolien, Kondensatorfolien und flexible Displayfolien. Für organische Elektronik ist die FHR der Wegbereiter: Wir ermöglichen das Aufdampfen organischer Moleküle für die Herstellung von Solarzellen, Displays und Leuchten.
Vakuumbeschichtungsanlagen
Erfahren Sie, wie unsere Vakuumbeschichtungsanlagen in verschiedenen Branchen Hochleistungsbeschichtungen ermöglichen. Unsere Experten zeigen Ihnen, wie Sie unsere Technologien für Ihre Projekte optimal nutzen können.
Der richtige Partner an Ihrer Seite
Gemeinsam die Zukunft gestalten – mit zuverlässigen und hochwertigen Beschichtungslösungen der FHR:
- Branchenführende Qualität: Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen sind auf höchste Präzision und Langlebigkeit ausgelegt.
- Maßgeschneiderte Lösungen: Wir bieten individuelle Lösungen für Ihr Beschichtungsprojekt, die Ihren speziellen Anforderungen gerecht werden.
- Innovative Methoden und Technologien: Mit unserer langjährigen Erfahrung und Expertise bei der Vakuumbeschichtung setzen wir neue Standards.
- Engagierter Kundenservice: Unser erfahrenes Team steht Ihnen jederzeit zur Verfügung, um Ihre Fragen zu beantworten und Sie bei Ihren Projekten zu unterstützen.
Entdecken Sie die vielfältigen Möglichkeiten unserer Vakuumbeschichtungstechnik und vertrauen Sie auf die FHR als Ihren zuverlässigen Partner für herausragende Beschichtungslösungen. Kontaktieren Sie uns, um mehr zu erfahren und gemeinsam Ihre Projekte zu realisieren.
Ihr Ansprechpartner
Sie haben Fragen?
Wenn Sie Fragen zum Thema Mikroelektronik und Beschichtung haben, dann hilft Ihnen unser Experte Marcus Schüler gerne weiter. Melden Sie sich bei uns.