项目示例

薄膜传感器在线式

用于生产传感器的高产溅射系统

应用

自动驾驶汽车正在成为现实，智能手机正在把业余爱好者变成测量设备专家，业余发明家正在使用微型计算机为家庭植物创建自动化系统。如今，复杂的自动化系统价格低廉且无处不在。其中不可或缺的一个要素就是：大量的传感器。它们记录温度、距离、压力、力、湿度、pH 值、气体浓度等数据，以便将理论模拟转化为实际的日常助手。低成本传感器的市场正在不断扩大。因此，越来越多的传感器制造商开始思考如何让传感器变得更便宜、更小巧。答案就是：薄膜技术。

对系统的要求

该系统将用于生产传感器，即导体、电容器和电阻器。为此，必须在 100 mm x 100 mm 晶圆的整个表面上沉积薄金属层--由客户在系统外通过激光或光刻技术进行构造。根据传感器的不同，层厚偏差应小于 +/- 5 % 或小于 +/- 10 %。除了单个金属层外，还必须根据事先定义的配方沉积多达两种不同金属的叠层。无论如何，都要求与基底有良好的附着力。每个工作日必须涂覆 100 到 200 个这样的晶片，有时甚至需要双面涂覆。由于未来的传感器产品可能需要更多的材料，因此该系统最好能在未来进行扩展。

解决需求

FHR.Line.700-V 是一种结构紧凑的在线式系统，基片载体以直立姿势通过系统。要同时涂层的12至16个晶圆通过同一真空锁室进出。真空锁室是圆形的，配备有基片载载具旋转装置，因此也可以从背面对晶片进行镀膜。完全抽空的工艺室包含一个蚀刻装置，用于基片表面的预清洁和活化（以获得更好的附着力），以及两个平面直流溅射源，用于金属沉积。基片支架根据活性配方以规定的速度和频率经过这些工艺站。工艺单元位于大门上，便于维护时进出。在工艺室的末端，有一个大的盲法兰，如有需要，可以在上面加装更多的工艺室。与所有 FHR 系统一样，一切均由配方自动控制。所有数据都被记录下来，以便日后追溯。