应用
太阳能不仅是免费的，而且在一定的时间限制内，还可以随处使用。在无法避免与电网长期断开的情况下，太阳能电池比以电池或燃料形式携带能源更便宜、更轻便，例如用于偏远地区的固定系统、户外移动应用或卫星。
对系统的要求
该系统将被集成到一条生产线上，用于在刚性基板上生产薄膜太阳能电池。它们的任务是沉积抗反射层，以减少太阳能电池外部对阳光的反射，从而为太阳能电池提供更多的光能。该层堆叠由多个电介质层组成，这些电介质层必须通过溅射（在某些情况下是反应性溅射）进行涂覆。作为 24/7 全天候生产线的一部分，该系统必须独立地将送入的基片从载具箱中取出，并在镀膜后再次放入载具箱中。
- 太阳能电池的高效率
- 低材料需求
- 高效的批量生产带来成本效益
解决需求
在线式系统非常适合这种高产量的稳定生产任务。FHR.Line.1100-V是一种垂直在线式系统，在该系统中，用于镀膜的基片在竖直方向上移动，经过同样竖直放置的高产能管溅射源。单个基片存放在盒子中，由FHR编程的放置机器人取出，并放置在大型载具（基板夹具）中。系统与垂直方向的倾斜度为 7°，确保基片留在载载具中。在小于 8 分钟的循环时间内，载具通过系统，在由阀门隔开的多个气闸中进入真空，经过回火、镀膜后通过气闸释放回大气中。载具返回系统将载体送回组装单元，由第二个机器人取出基片并放回运输箱。然后由第二个机器人重新装载载具并再次使用
FHR.LINE.1100-V的特点
- 用于24/7生产线
- 载具运输 - 包括回收 - 完全自动化
- 自动装载和卸载，采用FHR自己的控制系统
- 通过使用管状阴极，实现材料利用率最高和靶材服务寿命最长
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