特殊系统和系列产品
近年来，无论是在半导体生产、光学还是能源领域，真空镀膜技术都已成为众多行业的关键技术。FHR Anlagenbau GmbH专门从事开发和制造特殊系统工程中的定制真空镀膜机，以满足客户的独特要求。
The Thin Film Company – 这就是我们，这个声明既是一个愿景，也是一个主张.
FHR - 您的真空系统专家
愿景与抱负
我们是一支由大约 200 名工程师、机电工程师、物理学家、技术人员、化学家、商业专家和材料科学家组成的国际团队。我们齐心协力，为您的应用提供最佳功能镀膜。
我们的企业文化的特点是信任、创新、责任感和诚实。
30 多年来，我们一直在稳步发展。我们的客户群包括知名的批量生产企业和中小型隐形冠军企业。在产品和工艺的早期开发阶段，来自工业界和学术界的研究人员和开发人员都信赖我们在功能涂层领域的创新精神和专业知识。我们经常向自己提出新的挑战。
您需要了解我们的真空镀膜设备，或是客户服务？
无论您需要真空镀膜系统、溅射靶材、镀膜服务还是技术支持，我们的团队都随时准备为您提供帮助。现在就咨询我们吧！
我们的简介
30年的特殊系统工程
我们的根基在于特殊系统工程。迄今为止，我们已交付了 300 多套系统，这使我们能够利用大量经过实践检验的模块化组件。一方面，我们在将独特要求转化为强大的生产系统和工艺方面已成为专家。另一方面，我们开发了针对应用量身定制的系列系统，为您承担原型系列的资格验证，或与您合作开发适合我们系统使用的耗材（靶材）的材料组成，以完全满足您的要求。服务和咨询对我们来说是理所当然的，也完善了我们的产品组合。
每天，我们的客户使用我们的功能性镀膜在各种市场上制造产品，例如电子、微电子机械系统（MEMS）和传感器技术、精密光学和显示器、太阳能热能和光伏技术。
我们的客户订购高度灵活的团簇式系统（FHR.Star，主要用于涂覆晶圆基材）、针对产量和使用寿命进行优化的连续式系统（FHR.Line，用于涂覆大面积基材），甚至是房屋大小的卷对卷式系统（FHR.Roll，用于涂覆柔性基材，如金属带或聚合物薄膜）。
我们的系统平台采用溅射、气相沉积、PECVD 和 ALD 技术。当然，我们也可以在一个系统中实现这些技术的组合，而无需中断真空，这主要得益于我们的模块化程度。
您的联络人
您有什么问题吗？
您想进一步了解我们的真空镀膜设备吗？我们的产品管理总监 Sven Häberlein 将竭诚为您服务。请致电我们或给我们写信。