热气相沉积

热气相沉积可以用来在表面上应用涂覆如铜、银或金等金属的薄涂层，以及硅二氧化物或氧化铟锡等其他材料。这种方法还可用于生产有机半导体或特殊太阳能电池，如 CIGS 太阳能电池。在 CIGS 太阳能电池中，铜、铟、镓和硒被一起应用。在有机太阳能电池中，单体采用气相沉积法。FHR 是该专业领域涂层系统的顶级供应商.

热气相沉积是属于 PVD (物理气相沉积）范畴的技术之一。 将要涂覆的材料加热直至蒸发。 然后, 该蒸气以薄膜形式沉积在表面上。

热气相沉积在几乎无气体的腔室中进行。 例如, 通过添加氧气来改善涂层工艺。 该步骤在涂覆氧化铟锡涂层时特别有效, 可提高工艺质量和效率。

热气相沉积的优点之一是可以相对快速地涂覆薄涂层。具体速度取决于涂层的材料和所需性能。为了更好地利用这种方法, FHR 提供各种真空镀膜系统, 专门针对不同的材料和要求进行设计。  

与其他涂层技术相比，热气相沉积具有几个关键优势：

1. 高镀膜率: 与其他真空镀膜技术相比，该工艺通常有助于更快地沉积材料，从而缩短生产时间。
2. 涂层纯度: 由于热气相沉积在真空中进行，因此所产生的涂层通常具有高纯度且不含大气杂质.
3. 操作简单，成本效益高: 与其他一些 PVD 方法相比，热气相沉积的复杂性通常较低，所需的专用设备也较少，因此可降低运营成本。
4. 通过共蒸发实现灵活性: 同时蒸发多种材料的能力使合金或多组分涂层的生产成为可能，从而满足特定的应用要求。
5. 有效的附着力: 生产出的涂料通常与基材有极佳的附着力，从而形成耐久、耐磨的涂层。

这些优势使得热气相沉积技术成为薄膜技术领域用途广泛、功能强大的工具。