我们的起源
从电极溅射到被先导集团收购——FHR的历史
在德累斯顿开始薄膜技术之旅
创新、经验和变革的勇气是每项新技术的驱动力。在 FHR Anlagenbau GmbH 公司成立之初，Reinhard Fendler 博士（以下简称 "F"）、Wolfgang Hentsch 博士（以下简称 "H"）和 Christian Ränsch 博士（以下简称 "R"）将他们在电气工程、物理学和机械工程等各自领域的协同作用，以及他们在薄膜技术领域的多年经验结合在一起，形成了一个共同的愿景：在量身定制的系统概念中实现创新的功能性镀膜。
我们作为行业的先驱开始——今天，我们是薄膜公司
早在 20 世纪 80 年代，公司随后的几位创始人就参与了将镀膜和蚀刻技术应用于微电子领域的创新工业项目。20 多年来，他们共同实施了一系列项目，在推动薄膜技术发展方面发挥了关键作用。
在此之前，威廉-罗伯特-格罗夫于 1852 年发现 "溅射 "现象后，经过大约 120 年的时间，才在德累斯顿开发并制造出第一套用于工业真空镀膜的雾化系统。这项技术在二十世纪六七十年代彻底改变了半导体工业。这项技术在德累斯顿得到了大力推广，从而为该地区目前发展成为微电子领域最重要的工业基地之一奠定了基础。
我们的历史 - 从 VEB ELEKTROMAT 到一个国际高科技公司
2020
FHR 成为 Vital Group 的全资子公司
2017
继续与 SERIS 合作研究高品质 TCO 和接触层
2017
Manz AG 大订单，提供 CIGS 太阳能模块工厂的在线涂层技术
2017
交付 FHR.Star.600-EOSS 精密涂层系统，用于大型光学基板、棱镜和透镜
2015
提供四套垂直在线涂层系统，用于金属和介电涂层，具有全自动机器人控制的装载和卸载
2015
提供一套 1600 毫米卷对卷溅射系统，用于光学透明薄膜（低辐射涂层）
2013
交付第三代设备，用于 CSP 电站的太阳能热吸收管的真空涂层
2012
提供多套 1600 毫米卷对卷溅射系统和 800 毫米卷对卷蒸发系统，用于生产柔性 CIGS 基太阳能电池
2011
将 EOSS® 溅射系统交付给 Fraunhofer IST，用于精密光学应用
2011
向 Heliatek 公司交付世界上第一条用于 300 毫米宽有机太阳能电池的卷对卷真空涂层生产线
2009
在 Ottendorf-Okrilla 开设新办公楼和两个额外的生产厅
2008
开始交付大面积玻璃涂层系统，用于光伏行业
2008
FHR 成为 centrotherm photovoltaics AG 的全资子公司
2007
建造并交付首套用于 300 毫米晶圆的 CVD 工艺设备，进行原子层沉积 (ALD)
2003
创新卷对卷系统方案的开发用于薄膜镀膜
2000
在奥滕多夫-奥克里拉地点的新建筑启用
1997
首次按照DIN EN ISO 9001认证
1996
研发应用的首个RIE等离子体蚀刻系统的构建和交付
1996
开始与领先工业客户的战略合作，用于复杂系统的开发
1994
大型溅射靶材制造和粘结技术的扩展和延伸
1993
公司总部从德累斯顿迁至奥滕多夫-奥克里拉
1992
开发新型集群和在线系统解决方案用于真空镀膜
1991
由来自德累斯顿前VEB Elektromat的三位工程师在重新统一的德国成立FHR Anlagenbau GmbH公司
1980
VEB Elektromat Dresden与德累斯顿微电子研究所合并，组建微电子技术研究与发展中心(ZFMT)
1975
在德累斯顿开发和构建首个行业相关的真空镀膜雾化系统
1961
VEB Elektromat Dresden成立，作为半导体设备生产的技术设备供应商
1852
威廉·R·格罗夫观察电极溅射现象
1636
Otto von Guericke demonstrated the effect of air pressure for the first time in 1656 using two half-spheres and a specially developed vacuum pump. It is not known how effective the vacuum was. But it was so intense that 16 horses could not pull them apart.
