采用 PVD 和等离子 CVD 技术的在线式真空镀膜系统
FHR.LINE-产品系列
- 水平在线式系统
- 垂直在线式系统
- 无载具和有载具
- 带和不带载具返回系统
- 可根据要求全自动装载基材
用于为研发、中试或大批量生产的平板、晶片、硅片进行喷涂的薄膜镀膜系统。
- 电子产品
- 印刷电路板
- 传感器
- 显示器
- OLED
- 太阳能薄膜电池
- 薄膜电池
- 双极板
- 滤光片
- 磨损或腐蚀保护
- 装饰性涂层
- 以及许多其他应用
在线式概念是对任何平面基材进行高产磁控溅射、热气相沉积或 PECVD 镀膜的正确解决方案。我们提供的在线式真空镀膜解决方案可根据您的基材尺寸单独定制水平或垂直基材层。
通过加热或蚀刻对基材进行预处理，以及全自动贴片，我们都可以根据客户的具体要求进行整合。在线式系统可用作具有恒定产品的高生产率连续系统，也可用作具有高度灵活性的穿梭系统--由于靶材可互换，在线式系统可用于多种应用。
通过FHR.Line产品系列中的系统，我们的客户获得了集多种功能和优点于一身的高品质镀膜机。
- 具有吸引力的投资和运营成本
- 全自动装卸
- 可进行双面镀膜
- 使用 FHR 自己的溅射技术
- 模块化设计减少了改装或扩展的工作量
- 可采用封闭式二级冷却回路
- 全自动过程控制
- 高生产率
您的联络人
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您想了解有关 FHR.Line 产品系列的更多信息吗？我们的专家 Sven Häberlein 将竭诚为您服务。请与我们联系。
