VMET - 以效率和经验实现全球领先
在薄膜技术方面拥有深厚的专业知识和丰富的经验，与最高的生产效率相辅相成
在薄膜技术领域的最佳选择
我们将卓越的生产性能与技术的精湛相结合，并利用身为先导集团一份子的身份协同增效，成为一系列高科技行业真空镀膜系统和材料的领先供应商。未来，我们将与 VMET 一起，作为国际市场的领导者，推动全球薄膜技术的进步。
不妨看看VMET——在这里，对创新和卓越的不懈承诺深深扎根于每一个行动之中。
塑造未来
我们对创新技术的贡献
VMET是我们在中国高效生产薄膜镀膜系统的合作伙伴。在合作精神的指引下，我们专注于耐用且面向未来的生产系统的模块化设计。
作为先导集团的一份子，我们与VMET一起追求一个目标：我们将生产效率和专业知识与独特的技术诀窍相结合。我们的使命是通过创新薄膜技术改变世界。我们不仅凭借 30 多年在高效功能薄膜领域的经验专注于创新，而且还注重培养相互尊重和有效合作的精神。
VMET 在徐州拥有近 340 名员工，其生产设施自 2021 年投入使用以来已全面投入运营。根据要求，我们可以完全按照您的要求和欧洲标准在那里生产您的系统。
我们的优势是您成功的基础
- 14,000平方米的生产区域
- 10,000平方米用于研发的空间
- 最大腔室尺寸可达180立方米
- 可实现长度为80米的生产线
- 模块化系统满足您的需求
我们为您的应用提供最有效的解决方案
VMET 是我们的合作伙伴，为诸如能源技术和微电子等广泛的终端应用生产模块化薄膜镀膜系统。请联系我们，了解更多可供选择的方案。
我们的系统概览
发现我们的产品组合
FHR.Line.1500.H
这款基于载具的水平磁控溅射系统能够生产薄膜太阳能模块、传感器和功能性玻璃。它提供了广泛的镀膜选择。
FHR.Line.1500.V7
用于大面积镀膜的典型设备平台，配有载体和垂直磁控溅射系统。它被用于生产薄膜太阳能模块等。
FHR.Roll.1600
这个卷对卷系统为柔性基板提供了广泛的镀膜选项——尤其是塑料薄膜。该系统实现了高吞吐量和高效生产。可为最宽达1.6米的柔性薄膜提供光学或功能性涂层、金属化等。
FHR.Star.150
这些团簇式系统非常适合研发目的，以及半导体行业的小批量生产。共聚焦排列的源头可以在最大 200 毫米的基底（如晶片、芯片或块）上实现均匀镀膜。
FHR.Star.300
团簇式真空镀膜系统，非常适合研究与开发以及小批量生产。在半导体技术中部署，用于传感器、微机电系统(MEMS)或小型功能性电子产品的开发。它能在直径达200毫米的基底上提供均匀的镀膜——如晶圆、芯片或块材。
FHR.Star.300x400-SALD
空间原子层沉积(SALD)系统能够以高沉积速率实现均匀（且极为致密）的镀膜。该机器结合了原子层沉积(ALD)镀膜的优势和高效率工艺。它可以容纳尺寸达到300×400毫米的基底。
FHR.Star.500- & 600-EOSS®
FHR.Star.500-EOSS®平台设计用于在基底上沉积高精度和清洁的镀膜——如晶圆或光学玻璃。该技术能够生产精确的光学滤镜。这一系列可以在直径达到200毫米的基底上进行镀膜。600-EOSS®系列则可以处理直径达到300毫米的基底。
